德國(guó)公司的超聲波掃描顯微鏡
其主要運(yùn)用于半導(dǎo)體元器件,解決處理芯片,原料的內(nèi)部結(jié)構(gòu)失效表明.其可以檢測(cè)出:1.原料的內(nèi)部結(jié)構(gòu)晶格結(jié)構(gòu),沉渣細(xì)顆粒物.夾雜物.沉積.2. 內(nèi)部構(gòu)造裂縫.3.劃分層次缺陷.4.縫隙,氣泡,空隙等.
超聲波掃描顯微鏡和X光機(jī)區(qū)別:SAT為劃分層次掃描機(jī). X光為透射掃描機(jī).
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超聲波掃描顯微鏡,或超聲波顯微鏡,半導(dǎo)體業(yè)界通常都直接簡(jiǎn)稱為c-sam,或sat,主要應(yīng)用到半導(dǎo)體器件的后封裝檢測(cè)當(dāng)中。
超聲波掃描顯微鏡簡(jiǎn)介
超聲波顯微鏡,其實(shí)它與顯微鏡幾乎不沾邊,只是這玩意起先產(chǎn)生的國(guó)外,英文是:scanningacoustic microscope,簡(jiǎn)稱sam。后來(lái)進(jìn)入國(guó)內(nèi),大家也就直接翻譯成超聲波顯微鏡了,或者叫聲掃顯微鏡了。因此在很多半導(dǎo)體器件封裝廠,大家也就直接用泊業(yè)名:c-sam。其主要是針對(duì)集成電路(芯片)、大功率器件,如igbt、材料內(nèi)部的失效分析。
德國(guó)KSi的優(yōu)勢(shì)
1、操作系統(tǒng)中文,上手快
2、有防氣泡探頭,掃描速度最快2米/每秒,體驗(yàn)好,產(chǎn)能高 。
3、可以追溯的原文件格式,圖像和波形可以同時(shí)存儲(chǔ)為機(jī)器文件,方便分析溯源。
4、超聲CT功能模塊,體驗(yàn)提升。
5、各種掃描模式方便分析升級(jí)。
6、擴(kuò)展性強(qiáng),未來(lái)可以升級(jí)到雙探頭,xy軸磁懸浮掃描機(jī)構(gòu)20年免維護(hù).
代表客戶 景旺,芯愛(ài),禮鼎,深圳盛元半導(dǎo)體, 合科泰,東翔 ,長(zhǎng)電,芯健,萬(wàn)年芯,江西天漪,重慶市嘉凌新,華潤(rùn)微電子(重慶),貴州中芯微,byd,京瀚禹,三代半,13所,214所,綿陽(yáng)9院,臻驅(qū),思睿辰等
